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          最新動態

          ZYGO大口徑激光干涉儀

          來源:上海翔研精密儀器有限公司  發布時間:2019-8-6 10:44:14  點擊量:

           ZYGO大口徑激光干涉儀系統是雙通道測量系統,小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度測量模式,如相位調制、波長調制、動態測量等。大口徑激光干涉儀從常規的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口徑激光干涉儀包括

           

          • 激光干涉儀主機(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調制主機)

          • MUX分光器(光束轉換器)

          • 擴束器(12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選)

          • 機械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調制測量技術

          • 參考光束-透射平板和參考平板是光學系統必需的附件

          • 調整架-用于調整參考光束和測試光束的位置

          Large Aperture Interferometer System

          大口徑激光干涉儀系統組件可以與干涉儀主機分開購買,如果您需要系統測量和配置方面的具體信息請聯系我們。



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