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          客戶案例

          美國ZYGO 3D表面輪廓儀NewView 7300

          合作企業:瑞聲科技控股有限公司

          詳細說明

          NewView 7300表面輪廓儀以其極高的精密度和準確度定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。測量過程精密,高速,非接觸,且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態下縱向測量范圍可以從小于1nm至20000μm,基于ZYGO 專利的掃描技術,無論怎樣的表面形貌,放大倍數以及臺階特性,NewView 7300只需一次掃描即可達到0.1nm的縱向分辨率,并獲得所有的被測參數。

           

           

          系統參數:

          ◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀

          ◆掃描裝置: 閉環反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,

          ◆視場放大倍率:高質量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

          ◆成像放大: 電動3 位系統成像放大

          ◆視場:0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大范圍

          ◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設計長壽命白光LED物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具

          ◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦)

          ◆測量陣列:標配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可選更高分辨率992×999

          ◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實時觀察

          ◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦

          ◆Z 軸驅動:直流無刷微步進電機驅動,200mm 行程,0.1μm 精度

          ◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,防振臺:76X61X61,工作臺:85X132X89cm 

          ◆重量 :系統重量:約430Kg

          ◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

          ◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機

          ◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件

          ◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺;電控 6 位塔臺;

          ◆樣品臺:手動,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY 平移(±76mm) 三種可選

          ◆縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm,

          ◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.36~9.5μm,與所選物鏡有關,

          ◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關

          ◆最大數據點: 標準307200;可選984064;

          ◆RMS 重復性 <0.01 nm, RMSσ

          ◆臺階測量 :準確度 ≤ 0.75% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ

          ◆測樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

          ◆最大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-100%


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